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通过借助模式识别技术对a-c界面密度进行了量化，力交研究了非晶-结晶（a-c）界面对ZrNx阻挡层性能的影响。西藏并通过Tof-SIMS证明了非晶程度高的ZrNx薄膜具有更好的阻挡特性。

因此，电网非晶程度高的ZrNx薄膜具有更好的抗腐蚀能力和化学稳定性。月电易计此外进一步通过电化学方法揭示了a-c界面防腐蚀特性和非晶薄膜的化学稳定性。